ホシノ ヤスシ   Hoshino Yasushi
  星野 靖
   所属   神奈川大学  理学部 理学科
    神奈川大学大学院  理学研究科 理学専攻(物理学領域)
   職種   准教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2004/12
形態種別 学術雑誌
査読 査読あり
標題 Atomic scale characterization of HfO2/Al2O3 thin films grown on nitrided and oxidized Si substrates
執筆形態 共著
掲載誌名 Journal of Applied Physics
掲載区分国外
巻・号・頁 96,pp.6113-6119
著者・共著者 T. Nishimura, T. Okazawa, Y. Hoshino, Y. Kido, K. Iwamoto, K. Tominaga, T. Nabatame, T. Yasuda, A. Toriumi