ホシノ ヤスシ   Hoshino Yasushi
  星野 靖
   所属   神奈川大学  理学部 理学科
    神奈川大学大学院  理学研究科 理学専攻(物理学領域)
   職種   准教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2010/12
形態種別 その他
標題 高温イオン注入によるSiO2/Si界面へのFe微粒子形成とRBS・TEMによる評価の研究
執筆形態 共著
掲載誌名 第29回法政大学イオンビームシンポジウム 予稿集
掲載区分国内
著者・共著者 星野靖、有馬広記、斎藤保直、中田穣治