サトウ トモマサ   Sato Tomomasa
  佐藤 知正
   所属   神奈川大学  工学部 電気電子情報工学科
   職種   助手
言語種別 日本語
発行・発表の年月 1997/03
形態種別 その他
標題 RFスパッタによるZnS/p-Siヘテロ接合のC-V特性への成膜条件の影響
執筆形態 共著
掲載誌名 電子情報通信学会総合大会(C-6-2)
概要 特異なC-V特性が現れるRFスパッタリング法によるZnS膜の作成条件について報告した。