サトウ トモマサ   Sato Tomomasa
  佐藤 知正
   所属   神奈川大学  工学部 電気電子情報工学科
   職種   助手
言語種別 日本語
発行・発表の年月 1996/09
形態種別 その他
標題 RFスパッタによるZnS/p-Si接合の特異なC-V特性に関する一検討
執筆形態 共著
掲載誌名 電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ大会(C-356)
概要 ZnSをRFスパッタリング法により作成すると特異なC-V特性が現れることを見い出し、その報告をした。