サトウ トモマサ   Sato Tomomasa
  佐藤 知正
   所属   神奈川大学  工学部 電気電子情報工学科
   職種   助手
言語種別 日本語
発行・発表の年月 1996/09
形態種別 その他
標題 減圧熱CVD法によるZnS膜の成膜温度依存性
執筆形態 共著
掲載誌名 電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ大会(C-354)
概要 減圧熱CVD法によるZnS膜の結晶性、組成、表面モロフォロジーについての成膜温度依存性を報告した。