サトウ トモマサ   Sato Tomomasa
  佐藤 知正
   所属   神奈川大学  工学部 電気電子情報工学科
   職種   助手
言語種別 日本語
発行・発表の年月 1996/03
形態種別 その他
標題 Au/ZnS(Sm、F)/p-Si構造の電気的特性におけるW軽減の効果
執筆形態 共著
掲載誌名 電子情報通信学会総合大会(C-405)
概要 成膜プロセスによるW原子のZnS(Sm、F)膜への混入を軽減させ、その効果により高い電流密度が得られることを報告した。