サトウ トモマサ   Sato Tomomasa
  佐藤 知正
   所属   神奈川大学  工学部 電気電子情報工学科
   職種   助手
言語種別 日本語
発行・発表の年月 1995/01
形態種別 その他
標題 イオンビームスパッタZnS薄膜における酸素ドーピング
執筆形態 共著
掲載誌名 電子情報通信学会技術研究報告[電子ディスプレイ](EID94-110)
概要 イオンビームスパッタ法により酸素をドープして作製した薄膜EL素子の発光特性の酸素添加効果について論じた。