研究者情報 | 神奈川大学

サトウ　トモマサ Sato Tomomasa 佐藤　知正所属神奈川大学工学部電気電子情報工学科職種助手
言語種別	日本語
発行・発表の年月	1994/03
形態種別	その他
標題	OとFをドーピングしたイオンビームスパッタZnS薄膜
執筆形態	共著
掲載誌名	電子情報通信学会春期大会（C－481）
概要	イオンビームスパッタ法によりZnS膜を作製する際、雰囲気ガスにO2、さらにSF6を同時に混合した場合、それらの濃度と膜の結晶性との関連について論じた。