サトウ トモマサ   Sato Tomomasa
  佐藤 知正
   所属   神奈川大学  工学部 電気電子情報工学科
   職種   助手
言語種別 日本語
発行・発表の年月 1994/03
形態種別 その他
標題 ZnS/p-Si接合の特性
執筆形態 共著
掲載誌名 電子情報通信学会春期大会(C-484)
概要 ZnS/p-Siヘラロ接合を電子ビーム蒸着法とRFスパッタ法により作製し、J-V特性の作製条件依存性について論じた。