サトウ トモマサ   Sato Tomomasa
  佐藤 知正
   所属   神奈川大学  工学部 電気電子情報工学科
   職種   助手
言語種別 日本語
発行・発表の年月 1994/09
形態種別 その他
標題 イオンビームスパッタZnS薄膜におけるO2添加効果への不純物濃度の影響
執筆形態 共著
掲載誌名 電子情報通信学会秋期大会(C-338)
概要 イオンビームスパッタ法により不純物としてSm,FをドープしたZnS膜を作製する際、その不純物濃度や雰囲気のO2濃度と膜の結晶性との関連について論じた。