サトウ トモマサ   Sato Tomomasa
  佐藤 知正
   所属   神奈川大学  工学部 電気電子情報工学科
   職種   助手
言語種別 日本語
発行・発表の年月 1997/09
形態種別 その他
標題 RFスパッタリング法によるZnS/Si構造の熱処理効果
執筆形態 共著
掲載誌名 電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ大会(C-6-3)
概要 特異なC-V特性が現れる素子について熱処理について検討し、熱処理によりその異常特性が消失することを報告した。