サトウ トモマサ   Sato Tomomasa
  佐藤 知正
   所属   神奈川大学  工学部 電気電子情報工学科
   職種   助手
言語種別 日本語
発行・発表の年月 1998/03
形態種別 その他
標題 RFスパッタリング法によるAu/ZnS/Si構造のJ-V特性に関する一検討-Au:正電圧の場合-
執筆形態 共著
掲載誌名 電子情報通信学会総合大会(C-6-12)
概要 題記構造の素子においてAu電極が正電圧の場合について、導電型、抵抗率が異なるSi基板の場合のJ-V特性を比較することにより、その導電機構を検討した。