ミズノ トモヒサ
Mizuno Tomohisa
水野 智久
所属
神奈川大学 理学部 理学科
神奈川大学大学院 理学研究科 理学専攻(物理学領域)
職種
教授
言語種別
日本語
発行・発表の年月
2001
形態種別
その他
標題
ITOX法を用いた高品質/応力緩和SGOI基板技術
執筆形態
共著
掲載誌名
秋季応物予稿集,講演番号11p-M-4(2001).
概要
水野智久
,杉山直治,手塚勉, 高木信一
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