ホシノ ヤスシ   Hoshino Yasushi
  星野 靖
   所属   神奈川大学  理学部 理学科
    神奈川大学大学院  理学研究科 理学専攻(物理学領域)
   職種   准教授
発表年月日 2014/12
発表テーマ Si基板中への高温酸素イオン注入により形成したSOI構造の評価
発表学会名 第33回法政大学イオンビーム工学研究所シンポジウム
学会区分 研究会・シンポジウム等
発表形式 ポスター
単独共同区分 共同
開催地名 法政大学
発表者・共同発表者 神川智洋、露崎敏喜、星野靖、斎藤保直、中田穣治