研究者情報 | 神奈川大学

ユイ　アキノリ Yui Akinori 由井　明紀所属神奈川大学工学部機械工学科神奈川大学大学院工学研究科工学専攻（機械工学領域）職種教授
発表年月日	2015/09/13
発表テーマ	450mmシリコンウエハ用ロータリ研削盤の開発（切込み機構内蔵スピンドルの静剛性および位置決め精度）
発表学会名	日本機械学会2015年度全国大会
主催者	日本機械学会
学会区分	全国学会
発表形式	口頭（一般）
単独共同区分	単独
開催地名	北海道，札幌市
概要	試作した外径450mmシリコンウエハ加工用高剛性水静圧ロータリー研削盤に搭載した切込機構内蔵スピンドルの静剛性と位置決め精度を測定評価した．その結果，砥石スピンドルの静剛性は1.06kN/μm，位置決め精度は送り量0.05μmおよび0.2μmにおいて高い精度を示すことがわかった．