研究者情報 | 神奈川大学

ワタナベ　ノリミチ Watanabe Norimichi 渡邉　騎通所属神奈川大学工学部電気電子情報工学科職種助教
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2017/07
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	Damage-free polymer surface modification employing inward-type plasma
執筆形態	共著
掲載誌名	Japanese Journal of Applied Physics
掲載区分	国外
出版社・発行元	応用物理学会
巻・号・頁	56(8),086201-1-086201-9頁
担当範囲	AFM測定
著者・共著者	◎Ryo Kanou, Hiroshi Suga, Hideyuki Utsumi, Satoshi Takahashi, Yuya Shirayama, Norimichi Watanabe, Stephane Petit and Tetsuo Shimizu,
概要	試料に残渣を残すことなくサブミリメーター径の局所加工を行うことが可能な吸引プラズマエッチング法を開発した。本研究では、この装置を用いて、高分子材料の表面改質を行い、従来のプラズマジェットを用いて表面改質を行った場合と比較した。