研究者情報 | 神奈川大学

サトウ　トモマサ Sato Tomomasa 佐藤　知正所属神奈川大学工学部電気電子情報工学科職種助手
言語種別	日本語
発行・発表の年月	1997/03
形態種別	その他
標題	RFスパッタによるZnS／p－Siヘテロ接合のC－V特性への成膜条件の影響
執筆形態	共著
掲載誌名	電子情報通信学会総合大会（C-6-2)
概要	特異なC-V特性が現れるRFスパッタリング法によるZnS膜の作成条件について報告した。