研究者情報 | 神奈川大学

ワタナベ　ノリミチ Watanabe Norimichi 渡邉　騎通所属神奈川大学工学部電気電子情報工学科職種助教
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2014/10
形態種別	その他論文
査読	査読あり
標題	The investigation of electrical contacts using newly designed nano-indentation manipulator in Scanning Electron Microscope
執筆形態	共著
掲載誌名	Proceedings of THE SIXTIETH IEEE HOLM CONFERENCE ON ELECTRICAL CONTACTS
掲載区分	国外
出版社・発行元	IEEE
巻・号・頁	403-406頁
担当範囲	SEM観察
著者・共著者	◎Tetsuo Shimizu, Tomoyuki Horie, Norimichi Watanabe, Jun Miyawaki, Shunjiro Fujii, Yoshinori Yamagata, Takaya Kondo, Masanori Onuma
概要	電子顕微鏡内マニピュレータシステムを用いて、Sn基板上に酸化錫膜を300 nm成膜した試料に、先端曲率半径2.5μmのタングステンプローブを押し込んで圧痕を作製し、圧痕の表面や断面を観察した。