研究者情報 | 神奈川大学

サトウ　トモマサ Sato Tomomasa 佐藤　知正所属神奈川大学工学部電気電子情報工学科職種助手
言語種別	日本語
発行・発表の年月	1998/03
形態種別	その他
標題	RFスパッタリング法によるAu／ZnS／Si構造のJ－V特性に関する一検討－Au:負電圧の場合－
執筆形態	共著
掲載誌名	電子情報通信学会総合大会(C-6-13)
概要	題記構造の素子においてAu電極が負電圧の場合について、導電型、抵抗率が異なるSi基板の場合のJ－V特性を比較することにより、その導電機構を検討した。