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サトウ トモマサ
Sato Tomomasa 佐藤 知正 所属 神奈川大学 工学部 電気電子情報工学科 職種 助手 |
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言語種別 | 日本語 |
発行・発表の年月 | 1996/09 |
形態種別 | その他 |
標題 | RFスパッタによるZnS/p-Si接合の特異なC-V特性に関する一検討 |
執筆形態 | 共著 |
掲載誌名 | 電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ大会(C-356) |
概要 | ZnSをRFスパッタリング法により作成すると特異なC-V特性が現れることを見い出し、その報告をした。 |