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ミズノ トモヒサ
Mizuno Tomohisa 水野 智久 所属 神奈川大学 理学部 理学科 神奈川大学大学院 理学研究科 理学専攻(物理学領域) 職種 教授 |
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言語種別 | 日本語 |
発行・発表の年月 | 1989 |
形態種別 | 学術雑誌 |
査読 | 査読あり |
標題 | High Dielectric LDD Spacer Technology for High Performance MOSFET Using Gate-Fringing Field Effects |
執筆形態 | 共著 |
掲載誌名 | IEDM Tech. Dig(1989). |
巻・号・頁 | 613頁 |
概要 | T.Mizuno, T.Kobori, Y.Saitoh, S,Sawada, and T.Tanaka |