研究者情報 | 神奈川大学

サトウ　トモマサ Sato Tomomasa 佐藤　知正所属神奈川大学工学部電気電子情報工学科職種助手
言語種別	日本語
発行・発表の年月	1996/09
形態種別	その他
標題	減圧熱CVD法によるZnS膜の成膜温度依存性
執筆形態	共著
掲載誌名	電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ大会（C-354）
概要	減圧熱CVD法によるZnS膜の結晶性、組成、表面モロフォロジーについての成膜温度依存性を報告した。