研究者情報 | 神奈川大学

ユイ　アキノリ Yui Akinori 由井　明紀所属神奈川大学工学部機械工学科神奈川大学大学院工学研究科工学専攻（機械工学領域）職種教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2017/12
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	Siウエハのロータリ研削における砥粒貫入角が加工特性に及ぼす影響（査読付）
執筆形態	共著
掲載誌名	砥粒加工学会誌
掲載区分	国内
出版社・発行元	（公社）砥粒加工学会
巻・号・頁	61(12),607-612頁
担当範囲	本研究は博士後期課程学生の論文であり、研究指導の一環として、構想・実験装置調達、実験、考察を担当した。
著者・共著者	楠山純平，<由井明紀>，北嶋孝之，伊東利洋
概要	１つの砥粒がウエハ加工面上を通過する長さ（砥粒通過長さL）とその間に切り込む深さ（砥粒切込み深さD）の比（砥粒貫入角度）を，砥石外径，ウエハ外径，砥石回転数，ウエハ回転数nおよび砥石切込み速度を用いた無次元数として定義し，砥粒貫入角度がウエハの表面粗さと砥石スピンドルに及ぼす影響を実験的に明らかにした．