マツモト フトシ   Matsumoto Futoshi
  松本 太
   所属   神奈川大学  化学生命学部 応用化学科
    神奈川大学大学院  工学研究科 工学専攻(応用化学領域)
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2021/01
形態種別 学術雑誌
査読 査読あり
標題 Cu配線上への無電解パラジウム/金めっきに及ぼすPd触媒付与溶液中の添加剤の影響
執筆形態 共著
掲載誌名 表面技術
掲載区分国内
巻・号・頁 72(1),43-49頁
著者・共著者 田中 詩乃, 加藤 友人, 渡邊 秀人, 吉田 曉弘,郡司 貴雄, 松本 太