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ホシノ ヤスシ
Hoshino Yasushi 星野 靖 所属 神奈川大学 理学部 理学科 神奈川大学大学院 理学研究科 理学専攻(物理学領域) 職種 准教授 |
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言語種別 | 日本語 |
発行・発表の年月 | 2016/12 |
形態種別 | その他 |
標題 | パタン化されたSOI構造形成に向けた電子ビーム蒸着Si層のホモエピタキシャル成長条件の検討 |
執筆形態 | 共著 |
掲載誌名 | 第35回法政大学イオンビームシンポジウム 予稿集 |
掲載区分 | 国内 |
著者・共著者 | 井上航大、栗田紳平、谷地田剛介、星野靖、斎藤保直、中田穣治 |