研究者情報 | 神奈川大学

サトウ　トモマサ Sato Tomomasa 佐藤　知正所属神奈川大学工学部電気電子情報工学科職種助手
言語種別	日本語
発行・発表の年月	1996/03
形態種別	その他
標題	Au／ZnS（Sm、F）／p－Si構造の電気的特性におけるW軽減の効果
執筆形態	共著
掲載誌名	電子情報通信学会総合大会（C－405）
概要	成膜プロセスによるW原子のZnS（Sm、F）膜への混入を軽減させ、その効果により高い電流密度が得られることを報告した。