研究者情報 | 神奈川大学

ミズノ　トモヒサ Mizuno Tomohisa 水野　智久所属神奈川大学理学部理学科神奈川大学大学院理学研究科理学専攻（物理学領域）職種教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2017/09
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	Hot-C+-Ion Implantation Optimization for Forming Nano-SiC Region at Surface (100)SOI Substrate
執筆形態	共著
掲載誌名	Extended Abst. of SSDM
掲載区分	国内
出版社・発行元	JSAP
巻・号・頁	pp.537-538
著者・共著者	T. Mizuno, Y. Omata, S. Nakada, T. Aoki, and T. Sasaki