ミズノ トモヒサ   Mizuno Tomohisa
  水野 智久
   所属   神奈川大学  理学部 理学科
    神奈川大学大学院  理学研究科 理学専攻(物理学領域)
   職種   教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2022/02
形態種別 学術雑誌
査読 査読あり
標題 Si surface-orientation dependence of SiC-dot formation in bulk-Si substrate using hot-C+-ion implantation technique
執筆形態 共著
掲載誌名 J. Appl. Phys.
掲載区分国外
出版社・発行元 AIP
巻・号・頁 (131),pp.074301-1-074301-13
著者・共著者 T. Mizuno, T. Aoki, and T. Sameshima