研究者情報 | 神奈川大学

ホリ　ヒサオ Hori Hisao 堀　久男所属神奈川大学理学部理学科神奈川大学大学院理学研究科理学専攻（化学領域）職種教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	1992/10
形態種別	その他
標題	Role of decomposition products from phosphorus sources in metalorganic chemical vapor deposition of InGaP
執筆形態	共著
掲載誌名	19th International Symposium on Gallium Arsenide and Related Compounds (Karuizawa)
著者・共著者	H. Hori, H. Ishikawa, M. Mashita
概要	MOCVD法によるInGaP薄膜成長において、リン原料の分解生成物の役割を明らかにした。