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ホシノ ヤスシ
Hoshino Yasushi 星野 靖 所属 神奈川大学 理学部 理学科 神奈川大学大学院 理学研究科 理学専攻(物理学領域) 職種 准教授 |
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言語種別 | 日本語 |
発行・発表の年月 | 2017/09 |
形態種別 | その他 |
標題 | 清浄表面および水素終端化Si(001)表面上に形成した極薄非晶質Si層の中エネルギーイオンビーム照射による再結晶化レートと界面水素量依存性 |
執筆形態 | 共著 |
掲載誌名 | 応用物理学会 学術講演会 概要集 |
掲載区分 | 国内 |
著者・共著者 | 谷地田 剛介,井上 航大, 星野 靖, 中田 穣治 |