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ホシノ ヤスシ
Hoshino Yasushi 星野 靖 所属 神奈川大学 理学部 理学科 神奈川大学大学院 理学研究科 理学専攻（物理学領域） 職種 准教授 |
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| 言語種別 | 英語 |
| 発行・発表の年月 | 2018/03 |
| 形態種別 | 大学・研究所等紀要 |
| 標題 | Oxygen ion implantation into the crystalline (001)Si substrates through the patterned SiO2 structures
-Evaluation of surface morphology- |
| 執筆形態 | 共著 |
| 掲載誌名 | Proceedings of the 36th Symposium on Materials Science and Engineering Research Center of Ion Beam T |
| 掲載区分 | 国内 |
| 出版社・発行元 | Hosei University |
| 巻・号・頁 | 36,pp.79-82 |
| 著者・共著者 | Taiga Toyohara, Shun Kikuchi, Yutaro Tuyama, Kenta Mata, Gosuke Yachida, Yasushi Hoshino, Yasunao Saito, Jyoji Nakata |
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