研究者情報 | 神奈川大学

サトウ　トモマサ Sato Tomomasa 佐藤　知正所属神奈川大学工学部電気電子情報工学科職種助手
言語種別	日本語
発行・発表の年月	1995/03
形態種別	その他
標題	ZnS／p－Si接合の成膜方法依存性
執筆形態	共著
掲載誌名	電子情報通信学会総合大会（C－434）
概要	Sm.FをドープしたZnS／p－Si接合構造をイオンビームスパッタ法と電子ビーム蒸着法により作製し、その電気的特性の成膜方法依存性について論じた。