研究者情報 | 神奈川大学

サトウ　トモマサ Sato Tomomasa 佐藤　知正所属神奈川大学工学部電気電子情報工学科職種助手
言語種別	日本語
発行・発表の年月	1988/08
形態種別	その他
標題	イオンビームスパッタによるZnS系薄膜の作製
執筆形態	共著
掲載誌名	電子情報通信学会電子部品材料研究会
概要	ZnS系薄膜を、残留雰囲気ガスによる汚染の少ないイオンビームスパッタ法によって作製した場合について、その結晶性.EL特性について論じた。