研究者情報 | 神奈川大学

サトウ　トモマサ Sato Tomomasa 佐藤　知正所属神奈川大学工学部電気電子情報工学科職種助手
言語種別	日本語
発行・発表の年月	1995/01
形態種別	その他
標題	イオンビームスパッタZnS薄膜における酸素ドーピング
執筆形態	共著
掲載誌名	電子情報通信学会技術研究報告［電子ディスプレイ］（EID94－110）
概要	イオンビームスパッタ法により酸素をドープして作製した薄膜EL素子の発光特性の酸素添加効果について論じた。