ホシノ ヤスシ   Hoshino Yasushi
  星野 靖
   所属   神奈川大学  理学部 理学科
    神奈川大学大学院  理学研究科 理学専攻(物理学領域)
   職種   准教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2024/09
形態種別 その他
標題 ダイヤモンドへの高濃度Bイオン注入による低抵抗ドープ層形成における注入時基板温度依存性
執筆形態 共著
掲載誌名 第85回応用物理学会秋季学術講演会概要集
掲載区分国内
出版社・発行元 応用物理学会
担当区分 最終著者
著者・共著者 今村 海哉、関 裕平、星野 靖