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ホシノ ヤスシ
Hoshino Yasushi 星野 靖 所属 神奈川大学 理学部 理学科 神奈川大学大学院 理学研究科 理学専攻(物理学領域) 職種 准教授 |
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言語種別 | 日本語 |
発行・発表の年月 | 2024/09 |
形態種別 | その他 |
標題 | ダイヤモンドへの高濃度Bイオン注入による低抵抗ドープ層形成における注入時基板温度依存性 |
執筆形態 | 共著 |
掲載誌名 | 第85回応用物理学会秋季学術講演会概要集 |
掲載区分 | 国内 |
出版社・発行元 | 応用物理学会 |
担当区分 | 最終著者 |
著者・共著者 | 今村 海哉、関 裕平、星野 靖 |