サトウ トモマサ
Sato Tomomasa
佐藤 知正
所属
神奈川大学 工学部 電気電子情報工学科
職種
助手
言語種別
日本語
発行・発表の年月
1994/09
形態種別
その他
標題
ZnS/p-Si接合におけるカーボンの影響
執筆形態
共著
掲載誌名
電子情報通信学会秋期大会(C-336)
概要
ZnS/p-Si接合型DCELをイオンビームスパッタ法により作製し、その電気的特性のカーボンコンタミネーションの影響について論じた。
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