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マツキ ノブユキ
Matsuki Nobuyuki 松木 伸行 所属 神奈川大学 工学部 電気電子情報工学科 神奈川大学大学院 工学研究科 工学専攻(電気電子情報工学領域) 職種 准教授 |
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言語種別 | 日本語 |
発行・発表の年月 | 2000 |
形態種別 | 学術雑誌 |
査読 | 査読あり |
標題 | Fabrication of oxide-gate thin-film transistors using PECVD/PLD multichamber system |
執筆形態 | 共著 |
出版社・発行元 | Science and Technology of Advanced Materials, |
著者・共著者 | J. Ohta, H. Fujioka, M. Oshima, M. Yoshimoto, H. Koinuma |
概要 | Science and Technology of Advanced Materials, 1, 3,187~190 |