研究者情報 | 神奈川大学

オクノ　ショウジ Okuno Shoji 奥野　祥二所属神奈川大学情報学部システム数理学科職種助教
言語種別	日本語
発行・発表の年月	1994/03
形態種別	その他論文
標題	シリコン検出器に用いる積層絶縁膜
執筆形態	共著
掲載誌名	日本物理学会第49回年会
掲載区分	国内
著者・共著者	奥野祥二（総合研究大学院大）、池田博一（KEK）、赤嶺忠夫、斉藤豊、門井聖明、小島芳和（セイコー電子）。
概要	シリコン検出器に集積して作り込む読みだ使用のカップリング・キャパシタに用いる単層及び積層絶縁膜の静電容量と絶縁膜破壊について。