研究者情報 | 神奈川大学

サトウ　トモマサ Sato Tomomasa 佐藤　知正所属神奈川大学工学部電気電子情報工学科職種助手
言語種別	日本語
発行・発表の年月	1997/09
形態種別	その他
標題	ZnS／p-Si構造におけるC－V特性の電気的ストレスの影響
執筆形態	共著
掲載誌名	電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ大会（C-6-2)
概要	題記構造の素子においてZnS膜をIBS法により作製し、電気的ストレス印加前後のC－V特性について報告した。順方向ストレスにより負性キャパシタンスが生じることを報告した。