研究者情報 | 神奈川大学

サトウ　トモマサ Sato Tomomasa 佐藤　知正所属神奈川大学工学部電気電子情報工学科職種助手
言語種別	日本語
発行・発表の年月	1993/09
形態種別	その他
標題	イオンビームスパッタZnS薄膜におけるO2添加効果
執筆形態	共著
掲載誌名	電子情報通信学会秋期大会（C－316）
概要	イオンビームスパッタ法によりZnS膜を作製する際、雰囲気ガスにO2を混合した場合、その濃度と膜の結晶性との関連について論じた。