研究者情報 | 神奈川大学

オクノ　ショウジ Okuno Shoji 奥野　祥二所属神奈川大学情報学部システム数理学科職種助教
言語種別	日本語
発行・発表の年月	1995/10
形態種別	その他論文
査読	査読あり
標題	Lifetime of an ONO Stacked Insulator Film for a Silicon Microstrip Detector
執筆形態	共著
掲載誌名	IEEE 1995 Nuclear Science Symposium and Medical Iaging Conference
掲載区分	国外
著者・共著者	S.Okuno（Kanagawa U.），H.Ikeda（KEK），T.Akamine，Y.Saitoh，K.Kadoi and Y.Kojima（Seiko Inst. Inc）
概要	シリコン・マイクロストリップ検出器の組み込み型キャパシタに使われる絶縁膜の寿命について議論した。特に信頼性の向上が期待されるONO積層絶縁膜についての考察を行った。