研究者情報 | 神奈川大学

サトウ　トモマサ Sato Tomomasa 佐藤　知正所属神奈川大学工学部電気電子情報工学科職種助手
言語種別	日本語
発行・発表の年月	1997/09
形態種別	その他
標題	RFスパッタリング法によるZnS／Si構造の熱処理効果
執筆形態	共著
掲載誌名	電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ大会（C-6-3)
概要	特異なC－V特性が現れる素子について熱処理について検討し、熱処理によりその異常特性が消失することを報告した。