研究者情報 | 神奈川大学

オクノ　ショウジ Okuno Shoji 奥野　祥二所属神奈川大学情報学部システム数理学科職種助教
言語種別	日本語
発行・発表の年月	1994/09
形態種別	その他
標題	シリコン検出器用積層絶縁膜の開発
執筆形態	共著
掲載誌名	日本物理学会1994年秋の分科会
概要	奥野祥二（総合研究大学院大）、池田博一（KEK）、赤嶺忠夫、斉藤豊、門井聖明、小島芳和（セイコー電子）。シリコン検出器に集積して作り込む読みだ使用のカップリング・キャパシタに用いる単層及び積層絶縁膜の絶縁膜破壊とリーク電流について。