研究者情報 | 神奈川大学

オクノ　ショウジ Okuno Shoji 奥野　祥二所属神奈川大学情報学部システム数理学科職種助教
言語種別	日本語
発行・発表の年月	1996
形態種別	その他論文
査読	査読あり
標題	Fabrication of a Double Sided Silicon Microstrip Detector with an ONO Capacitor Dielectric Film
執筆形態	共著
掲載誌名	1995 IEEE Nuclear Science Symposium and Medical Iaging Conference Record Volume 1
掲載区分	国外
巻・号・頁	1,201-205頁
著者・共著者	Y.Saitoh，T.Akamine，M.Inoue，J.Yamanaka，K.Kadoi，Y.Kojima，S.Miyahara，M.Kamiya（Seiko Inst. Inc.），H.Ikeda，T.Matsuda，T.Tsuboyama，H.Ozaki，M.Tanaka，H.Iwasaki，J.Haba，Y.Higashi，Y.Yamada（KEK），S.Okuno（Kanagawa U.），S.Avrillon（Graduate U. Advanced Studies），T.Nemoto，I.Fukunishi，Y.Asano（Tskuba U.）
概要	ONO積層絶縁膜を用いた両面シリコン・マイクロストリップ検出器の製造法について。