研究者情報 | 神奈川大学

ヒラオカ　タカハル Hiraoka Takaharu 平岡　隆晴所属神奈川大学工学部電気電子情報工学科職種准教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2000/06
形態種別	その他
標題	プラズマCVDによる多層薄膜光導波路の作製
執筆形態	共著
掲載誌名	電子情報通信学会技術研究報告[光エレクトロニクス]
巻・号・頁	OPE00-26
著者・共著者	大出　英長，穴田　哲夫，平岡　隆晴，許　瑞邦
概要	OPE00-26 プラズマCVDによる多層薄膜構造の光導波路の作製方法について述べている。