研究者情報 | 神奈川大学

ホリ　ヒサオ Hori Hisao 堀　久男所属神奈川大学理学部理学科神奈川大学大学院理学研究科理学専攻（化学領域）職種教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	1993/04
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	Role of decomposition products from phosphorus sources in metalorganicchemical vapor deposition of InGaP
執筆形態	共著
掲載誌名	Inst. Phys. Conf. Ser.
巻・号・頁	129,103-108頁
著者・共著者	H. Hori, H. Ishikawa, M. Mashita
概要	ホスフィンとターシャリブチルホスフィンの両方を用いたInGaPのMOCVD薄膜成長を行い、結晶成長モデルを立てた。