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オクノ ショウジ
Okuno Shoji 奥野 祥二 所属 神奈川大学 情報学部 システム数理学科 職種 助教 |
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| 言語種別 | 日本語 |
| 発行・発表の年月 | 1996/06 |
| 形態種別 | 学術雑誌 |
| 査読 | 査読あり |
| 標題 | Fabrication of a Double Sided Silicon Microstrip Detector with an ONO Capacitor Dielectric Film |
| 執筆形態 | 共著 |
| 掲載誌名 | IEEE Trans.Nucl.Sci.43 |
| 掲載区分 | 国外 |
| 巻・号・頁 | 1123-1129頁 |
| 著者・共著者 | Y.Saitoh，T.Akamine，M.Inoue，J.Yamanaka，K.Kadoi，R.Takano，Y.Kojima，S.Miyahara，M.Kamiya（Seiko Inst. Inc.），H.Ikeda，T.Matsuda，T.Tsuboyama，H.Ozaki，M.Tanaka，H.Iwasaki，J.Haba，Y.Higashi，Y.Yamada（KEK），S.Okuno（Kanagawa U.），S.Avrillon（Graduate U. Advanced Studies），T.Nemoto，I.Fukunishi，Y.Asano（Tsukuba U.） |
| 概要 | ONO積層絶縁膜を用いた両面シリコン・マイクロストリップ検出器の製造法について |
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