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ミズノ トモヒサ
Mizuno Tomohisa 水野 智久 所属 神奈川大学 理学部 理学科 神奈川大学大学院 理学研究科 理学専攻(物理学領域) 職種 教授 |
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言語種別 | 日本語 |
発行・発表の年月 | 2001/01 |
形態種別 | その他 |
査読 | 査読あり |
標題 | Temperature Effects on Oxidization Process of SiGe-on-Insulator Structures to Form Thin and High-Ge-content SiGe Virtual Substrates |
執筆形態 | 共著 |
掲載誌名 | 1st International WorkShop on New Group IV (Si-Ge-C) Semiconductors Control of Properties and Applications to Ultrahigh Speed and Opto-Electronic Devices, Sendai(2001.1.21.) |
概要 | N. Sugiyama, T. Tezuka, T. Mizuno, M. Suzuki, Y. Ishikawa, N. Shibata and S. Takagi |