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ミズノ トモヒサ
Mizuno Tomohisa 水野 智久 所属 神奈川大学 理学部 理学科 神奈川大学大学院 理学研究科 理学専攻(物理学領域) 職種 教授 |
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言語種別 | 日本語 |
発行・発表の年月 | 2001 |
形態種別 | 学術雑誌 |
標題 | A Novel Fabrication Technique of Ultra-thin and Relaxed SiGe Buffer Layers with High Ge Fraction for sub-100 nm Strained Silicon-on-Insulator MOSFETs |
執筆形態 | 共著 |
掲載誌名 | Jpn. J. Appl. Phys.,40(2001). |
巻・号・頁 | 2866頁 |
概要 | T.Tezuka, N.Sugiyama, T.Mizuno, M.Suzuki and S.Takagi |