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ミズノ トモヒサ
Mizuno Tomohisa 水野 智久 所属 神奈川大学 理学部 理学科 神奈川大学大学院 理学研究科 理学専攻(物理学領域) 職種 教授 |
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言語種別 | 日本語 |
発行・発表の年月 | 1987 |
形態種別 | 学術雑誌 |
標題 | Oxidation Rate Reduction in the Submicrometer LOCOS Process |
執筆形態 | 共著 |
掲載誌名 | IEEE Trans. Electron Devices,ED-34(1987). |
巻・号・頁 | 2255頁 |
概要 | T.Mizuno, S.Sawada, S.Maeda, and S.Shinozaki |